EUV光刻机以波长为13.5纳米的（）作为光源的光刻技术。

lk2025-03-30 6

题目：EUV光刻机以波长为13.5纳米的（）作为光源的光刻技术。

A. 极蓝光

B. 极红光

C. 极紫外光

D. 极红外光

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